میکروسکوپ الکترونی روبشی که به آن Scanning Elecron Microscope  یا به اختصار SEM گویند، یکی از انواع بسیار معروف میکروسکوپ های الکترونی است که خصوصا کاربردهای بسیاری در فناوری نانو پیدا کرده است. نخستین تلاش ها در زمینه ی توسعه ی میکروسکوپ های روبشی به سال 1935 باز می­گردد که  ماکس نول (Max Knoll)  در آلمان پژوهش هایی در زمینه ی پدیده های الکترونیک نوری انجام داد و تصویری را بر اساس کانتراست کانالی الکترونی (electron chanelling contrast)  از فولاد سیلیسیمی به دست آورد. مانفرد وان آردن    (ManfredvonArdenne)  تحقیقات بیشتری را بر روی اصول فیزیکی SEM و برهمکنش آن با نمونه انجام داد و توانست در سال 1938 با اضافه کردن سیم پیچ های روبشی به یک TEM، میکروسکوپ الکترونی عبوری ـ روبشی بسازد. با اینحال دستگاه او از نظر عملی مورد استقبال قرار نگرفت. استفاده از SEM برای مطالعه ی نمونه های ضخیم غیرشفاف اولین بار توسط ژورکین (Zworykin)  و همکاران در سال 1942 در ایالات متحده ی آمریکا انجام شد. توسعه ی بیشتر SEM توسط پروفسور چارلز اُتلی (CharlesOatley)  و همکارش گَری استوارت (GaryStewart) در دانشگاه کمبریج بریتانیا به انجام رسید و در سال 1965 برای اولین بار به صورت تجاری روانه ی بازار شد.

یکی از کاربردهای وسیع SEM متالوگرافی می­باشد که اصطلاحا به آن متالوگرافی الکترونی نیز گفته می­شود.

چکیده

میکروسکوپ الکترونی روبشی یکی از روش های مهم آنالیز مواد می­باشد که استفاده از آن توسعه فراوانی یافته است. میکروسکوب الکترونی در تمامی علوم از جمله متالورژی دارای کاربرد زیادی از جمله مطالعه سطح شکست، متالوگرافی و آنالیز شیمیایی EDS می­باشد. در این گزارش ابتدا مروری بر میکروسکوپ الکترونی روبشی خواهیم داشت. برهمکنش پرتو ارکترونی و ماده بررسی شده است، همچنین اجزای مختلف میکروسکوپ الکترونی به طور مختصر شرح داده شده است. سپس تاثیر اچ کردن، ولتاژ، نوع آشکارساز و زبری سطح روی وضوح و کیفیت تصویر بررسی شده است. در قسمت عملی چند نمونه ی مختلف فولادی، آلومینیومی، مسی و فلز پوشش دار را توسط روشهای استاندارد آماده سازی شده اند، سپس مورد بررسی های مختلف قرار گرفته اند. فاصله بین لایه های پرلیت در فولاد پرلیتی اندازه گیری شده و تاثیر اچ روی آن بررسی شده است. تاثیر الکترو اچ روی فولاد زنگ نزن مطالعه شده است. تفاوت ساختار یوتکتیک قبل و بعد از اچ کردن در آلیاژ آلومینیوم بیان شده است. میانگین اندازه گرافیت و کروی بودن در چدن داکتیل به طور کامل اندازه گیری شده است. عوامل موثر بر کیفیت تصویر آلیاژ مس شرح داده شده است. نوع فصل مشترک و پوشش در نمونه پوشش دار توصیف شده است وگرادیان ترکیبی در فولاد کربوره شده تعیین شده است.  بنابرین متالوگرافی الکترونی یک کاربرد بسیار مهم از میکروسکوپ الکترونی روبشی در علم متالورژی می­باشد.

محتوای این پژوهش شامل موارد زیر است:

• چکیده
• مقدمه
• اساس کار میکروسکوپ های الکترونی روبشی
• قسمت های مختلف میکروسکوپ الکترونی روبشی
• متالوگرافی با میکروسکوپ الکترونی
• نتیجه گیری
• منابع

این تحقیق به صورت تایپی و در قالب فایل فشرده بوده و شامل 26 صفحه است.

ورد